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設備機器情報


設備名称 X線マイクロアナライザー
メーカ・
型式
日本電子㈱製
JXA-8100
用途 電子ビームを試料に照射し、発生する特性X線の波長や強度などを測定することによって、試料の構成元素の定性や定量、分布状態などをミクロからマクロの領域まで、非破壊で分析できます。
・炭素、酸素、窒素などの軽元素と同時に金属元素などを検出することが可能です。また、1ミクロン程度の微小異物の測定が可能です。微小異物の元素情報、腐食などの酸化分布の測
仕様 1.電子光学系
 電子銃:W及びLaB6
 加速電圧:0.2~30kV
 照射電流範囲:10E-12A~10E-5A
 二次電子像分解能:6nm(W),5nm(LaB6)
 倍率:40~300,000倍
2.X線分光系
 分析元素範囲:B~U
分光器:4基
 ローランド円半径:高感度用(100mm)及び高分解能用(140mm)
分光結晶:TAPH,LiFH,PETH,LDE1H,TAP,LiF,PET,LDE2
3.試料ステージ系
 最大試料:100×100×50mm
 分析領域:90mm×90mm
4.分析ソフト
 定性・定量・半定量・線分析(斜め方向も可)・マッピング(湾曲面も可)
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2004/01
設置場所 下越技術支援センター