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設備機器情報


設備名称 カラーレーザ顕微鏡
メーカ・
型式
㈱キーエンス製
VK-8500
用途 レーザを用い、光学顕微鏡では得られない超深度観察が可能な顕微鏡です。顕微鏡観察と同時に、表面の粗さ測定も可能です。
仕様 型式          測定部VK-8510/コントローラVK-8500
15型モニタ上での倍率   200   400   1000  2000
対物レンズ倍率      10X   20X   50X   100X
観察測定範囲カラー  1390x1053 695x526 278x210 139x105
(μm)  モノクロ 1479x1109 739x554 295x221 147x110
作動距離:mm       16.5   3.1   0.54  0.3
開口数 NA        0.3   0.46   0.8   0.95

高さ測定範囲:mm            7
高さ方向最小測定分解能:μm       0.01
高さ方向繰り返し測定精度:σ      0.03
表示分解能 カラー           962x729
(ピクセル)モノクロ          1024x768
フレームメモリ 映像用(カラー)    1024x768x8bitx3
        映像用(モノクロ)   1024x768x8bit
        高さ用         1024x768x20bit
フレームレート カラー         6
        モノクロ        9
        ライン及び膜厚     1000
光学ズーム               2x、4x
デジタルズーム             2x、3x
測定用レーザー光源 波長        685nm
          出力        0.45mW
          クラス       JISクラス2
観察用白色光源   ランプ       50Wハロゲン
          寿命        2000時間(平均)
          色温度       3000K(max時)
カメラ       撮像素子      カラーCCDイメージセンサ
          ゲイン       調整可
          シャッタースピード 調整可
          ホワイトバランス  3200K/AUTO/MANUAL/PUSHSET
          Yガンマ有り     Yガンマ有り
Zステージ      ストローク     28mm
          試料最大高さ    28mm
XYステージ     ストローク     70x70mm
          試料最大奥行き   159mm
ステージ      回転        360度
出力        アナログRGB     1024x768ピクセル 水平48.4KHz 垂直60.6KHz
          SCSI        SCSI-2準拠マイクロミニピンタイプ 50ピン
          AC出力       2系統 最大2A
電源        電源電圧      AC100~240V±10% 50/60Hz
          消費電力      300VA以下
質量        顕微鏡       約22kg
          コントローラ    約9.5kg
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2003/02
設置場所 素材応用技術支援センター