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設備機器情報


設備名称 レーザー顕微鏡
メーカ・
型式
㈱キーエンス製
VK-9500
用途 焦点深度の深い表面観察や微細形状測定
仕様 15インチモニタ上倍率200(対物レンズ×10)、400(×20)、1000(×50)、3000(×150)
観察測定範囲 1350×1012μm(×10)、675×506μm(×20)、270×202μm(×50)、90×67μm(×150)
高さ測定範囲 7mm(表示分解能 0.01μm)
ステージストローク XY70mm、Z28mm
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2003/09
設置場所 上越技術支援センター