蛍光Ｘ線分析装置｜新潟県工業技術総合研究所

設備名称	レーザー顕微鏡
メーカ・型式	㈱キーエンス製 VK-9500
用途	焦点深度の深い表面観察や微細形状測定に使用する
仕様	観察倍率　　　15インチモニタ上×200(対物レンズ×10)、×400(×20）、×1000(×50)、×3000(×150) 観察測定範囲　1350×1012μm(×10)、675×506μm(×20)、270×202μm(×50)、90×67μm(×150) 高さ測定範囲　7mm 表示分解能　　0.01μm ステージストローク　XY70mm、Z28mm 試料最大高さ　28mm（スペーサーにより102mmまで拡張可能）試料最大直径　φ318mm ソフトウェア　三次元形状データのカラー画像マッピング、プロファイル計測、表面粗さ計測、表面積、体積計測等　　　　　　　※USBメモリは使用禁止です。試験データを持ち出す際は、CD-Rをご用意下さい。
利用料金	¥1,790 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。）	外観
導入年月	2003/09
設置場所	上越技術支援センター

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