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設備機器情報


設備名称 超精密表面粗さ測定装置
メーカ・
型式
アメテック(株)製
フォームタリサーフPGI430
用途 表面粗さの測定
仕様 <水平方向>
駆動距離 最大120mm
測定速度 0.25mm/s 0.5mm/s 1mm/s
最大データポイント 960,000ポイント
<垂直方向>
測定レンジ4mm(60mmスタイラス使用時)
分解能0.8nm@4mmレンジ
ゲージレンジと分解能比5,000,000:1
先端半径、2μmR円錐ダイヤモンドスタイラス、スタイラス荷重 0.3~1mN(100mgf)
<システムパフォーマンス>
形状エラー 0.15μm以下/4mm測定レンジ
システムノイズ(Rq)2nm 

※ 本測定機は、公益財団法人JKAの機械工業振興補助事業の一環として導入されました。
利用料金 ¥1,390 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2014/01
設置場所 県央技術支援センター