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設備名称 | あらさ測定機 | |
メーカ・ 型式 |
(株)キーエンス製 ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3200 |
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用途 | パターン光投影法により、三次元の形状や表面粗さを非接触で測定します。手のひらに載る程度の比較的小物の測定に向いています。 | |
仕様 | 型式 VR-3200 種類 ヘッド 対応コントローラ VR-3000 観察測定範囲 広視野モード 15型モニタ上倍率 12× 横 (H) 24mm 縦 (V) 18mm 15型モニタ上倍率 25× 横 (H) 12mm 縦 (V) 9mm 15型モニタ上倍率 38× 横 (H) 8mm 縦 (V) 6mm 15型モニタ上倍率 50× 横 (H) 縦 (V) 4.5mm 高倍率モード 15型モニタ上倍率 40× 横 (H) 7.6mm 縦 (V) 5.7mm 15型モニタ上倍率 80× 横 (H) 3.8mm 縦 (V) 2.9mm 15型モニタ上倍率 120× 横 (H) 2.5mm 縦 (V) 1.9mm 15型モニタ上倍率 160× 横 (H) 縦 (V) 1.4mm ズーム 1 ~ 4倍 測定可能高さ 広視野モード:10 mm (±5 mm)、高倍率モード:1mm (±0.5 mm)*1 表示分解能 0.1 µm*2 繰り返し精度 (σ) 高さ測定 0.5µm*3 幅測定 広視野モード:1µm 高倍率モード:0.5µm*3 測定精度 高さ測定 ±3µm*3 幅測定 広視野モード:5µm 高倍率モード:2µm*3 連結機能 全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定*4 自動調整、自動テンプレート解析*4 ステージXYストローク 184 x 88mm(電動) Z ストローク 90 mm (電動) 回転機構 ±180° (試料回転ステージ) チルト機構 ±30°以上 作動距離 75 mm 撮像素子 1型400万画素モノクロCMOS 投光レンズ ダブルテレセントリックレンズ x 2 受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ 照明系 観察用光源 LEDリング照明 (赤,緑,青) 測定用光源 白色LED 画像サイズ 1024×768pix, 2048×1536pix データ処理部 弊社指定専用PC (OSはWindows7)*5 定格 電源電圧 AC 100 ~ 240 V ±10 %、50/60 Hz 消費電力 150 VA 耐環境性 使用周囲温度 +15 ~ +30 ℃ 使用周囲湿度 35 ~ 80 % RH (結露しないこと) 質量 28.0 kg 注記 *1 焦点位置を中心に 低倍側±5 mm、高倍側±0.5 mmの範囲 *2 高さ測定の分解能 *3 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードにて測定した場合の値(周囲温度23±1℃) *4 連結モジュール(VR-H2J)が必要 *5 Windows7 Professional および Ultimate |
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利用料金 | ¥1,770 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。) | 外観 |
導入年月 | 2019/11 | |
設置場所 | 中越技術支援センター |