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新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。

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設備機器情報


設備名称 あらさ測定機
メーカ・
型式
(株)キーエンス製
ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3200
用途 パターン光投影法により、三次元の形状や表面粗さを非接触で測定します。手のひらに載る程度の比較的小物の測定に向いています。
仕様 型式 VR-3200
種類 ヘッド
対応コントローラ VR-3000
観察測定範囲
  広視野モード
15型モニタ上倍率 12× 横 (H) 24mm 縦 (V) 18mm
15型モニタ上倍率 25× 横 (H) 12mm 縦 (V) 9mm
15型モニタ上倍率 38× 横 (H) 8mm 縦 (V) 6mm
15型モニタ上倍率 50× 横 (H) 縦 (V) 4.5mm
  高倍率モード
15型モニタ上倍率 40× 横 (H) 7.6mm 縦 (V) 5.7mm
15型モニタ上倍率 80× 横 (H) 3.8mm 縦 (V) 2.9mm
15型モニタ上倍率 120× 横 (H) 2.5mm 縦 (V) 1.9mm
15型モニタ上倍率 160× 横 (H) 縦 (V) 1.4mm
ズーム 1 ~ 4倍
測定可能高さ 広視野モード:10 mm (±5 mm)、高倍率モード:1mm (±0.5 mm)*1
表示分解能 0.1 µm*2
繰り返し精度 (σ) 高さ測定 0.5µm*3
    幅測定 広視野モード:1µm 高倍率モード:0.5µm*3
測定精度     高さ測定 ±3µm*3
    幅測定 広視野モード:5µm 高倍率モード:2µm*3
連結機能 全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定*4
自動調整、自動テンプレート解析*4
ステージXYストローク 184 x 88mm(電動)
Z ストローク 90 mm (電動)
回転機構 ±180° (試料回転ステージ)
チルト機構 ±30°以上
作動距離 75 mm
撮像素子 1型400万画素モノクロCMOS
投光レンズ ダブルテレセントリックレンズ x 2
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
照明系 観察用光源 LEDリング照明 (赤,緑,青)
測定用光源 白色LED
画像サイズ 1024×768pix, 2048×1536pix
データ処理部 弊社指定専用PC (OSはWindows7)*5
定格 電源電圧 AC 100 ~ 240 V ±10 %、50/60 Hz
消費電力 150 VA
耐環境性 使用周囲温度 +15 ~ +30 ℃
 使用周囲湿度 35 ~ 80 % RH (結露しないこと)
質量 28.0 kg

注記
*1 焦点位置を中心に 低倍側±5 mm、高倍側±0.5 mmの範囲
*2 高さ測定の分解能
*3 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードにて測定した場合の値(周囲温度23±1℃)
*4 連結モジュール(VR-H2J)が必要
*5 Windows7 Professional および Ultimate
利用料金 ¥1,770 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2019/11
設置場所 中越技術支援センター