蛍光Ｘ線分析装置｜新潟県工業技術総合研究所

設備名称	超精密表面粗さ測定装置
メーカ・型式	アメテック(株)製フォームタリサーフPGI430
用途	表面粗さの測定
仕様	＜水平方向＞駆動距離　最大120mm 測定速度　0.25mm/s　0.5mm/s　1mm/s 最大データポイント　960,000ポイント＜垂直方向＞測定レンジ4mm（60mmスタイラス使用時）分解能0.8nm＠4mmレンジゲージレンジと分解能比5,000,000:1 先端半径、2μmＲ円錐ダイヤモンドスタイラス、スタイラス荷重　0.3～1mN(100mgf）＜システムパフォーマンス＞形状エラー　0.15μm以下/4mm測定レンジシステムノイズ(Rq)2nm　 ※ 本測定機は、公益財団法人JKAの機械工業振興補助事業の一環として導入されました。
利用料金	¥1,770 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。）	外観
導入年月	2014/01
設置場所	県央技術支援センター

新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。