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設備機器情報


設備名称 三次元構造解析顕微鏡
メーカ・
型式
Wyko製
NT-3300
用途 [試験内容]非接触で三次元形状の測定を行います。
[測定原理]
白色光の干渉を利用し非接触で試料の表面形状を1000万分の1ミリの精度で測定する顕微鏡です。走査型白色干渉法とは、干渉計(対物レンズ)を高さ方向に垂直駆動して干渉縞(干渉強度)を収集します。白色光の干渉深度は2μm程度と狭いですが、凹凸のある面を上から下に一定速度で走査し、観察面内で干渉縞のコントラストが最大となった点を求めることで観察各点の高さ情報を得ます。
[用途]
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、シリコンウェハ等の基板表面の三次元形状や段差、粗さなどを測定し表面性状を評価できます。また、金属表面処理製品、電子部品、プラスチック製品、セラミックス製品など、多くの分野においても活用できます。
仕様 ・垂直方向の分解能 :3nm(VSI)、0.3nm(PSI)
・垂直方向の測定範囲:500um(VSI)、0.16um(PSI)
※ 垂直方向の分解能と測定範囲は2つの方式により異なります。(VSI:垂直走査干渉方式、PSI:位相干渉方式)
・対物レンズの倍率:1.5倍,2.5倍,10倍,50倍
・中間レンズの倍率:0.5倍,2.0倍
・水平方向の測定範囲:0.02mm×0.06mm~8.2mm×6.1mm
※ 水平方向の測定範囲はステッチング機能により100mm×100mm程度まで拡張可能です。
利用料金 ¥1,340 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2002/03
設置場所 下越技術支援センター