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設備機器情報


設備名称 非接触表面形状測定機
メーカ・
型式
アメテック株式会社テーラーホブソン事業部製
CCI HD XL型
用途 光の干渉を応用し、一般的な光学顕微鏡では測定不可能な微細形状の非接触測定が可能な装置です。
平面だけではなく、球面や非球面、傾斜面の表面性状(粗さ、うねり)や段差高さの測定が可能です。
ISO 25178-604に分類される測定機です。
仕様 【性能】
・測定範囲(高さ方向):2.2mm
・測定範囲(水平方向):□6.6mm (x2.5倍)
            □1.65mm(x 10倍)
            □0.33mm(x 50倍)
            □0.16mm(x100倍)
 ※測定範囲は、ステッチングにより拡大可能(最大64個)
・分解能 (高さ方向):0.01nm
・平面繰り返し精度:  0.02nm以下(SiC平面に対する20回測定のRqの1σ標準偏差)
・段差繰り返し精度:  0.1%以下(5um段差標準に対する20回測定の1σ標準偏差)

【仕様】
・カメラ:     400万画素
・ステージ移動量: X 150mm
        : Y 150mm
        : Z 100mm
・ステージ耐荷重: 10kg
・ステージ傾斜量: +/-4°
・膜厚測定:    可能(0.3~10um)
・解析ソフトウェア:タリマップ(プラチナ)
 - 2D表面性状パラメータ(JIS B0601:2001、ISO4287:1997)
 - 3D表面性状パラメータ(ISO 25178-2:2012)
 - 寸法測定
 - 体積計算
 - 周期計算

※ 本測定機は、公益財団法人JKAの機械工業振興補助事業の一環として導入されました。
利用料金 ¥1,340 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2014/02
設置場所 下越技術支援センター