蛍光Ｘ線分析装置｜新潟県工業技術総合研究所

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設備名称	走査型プローブ顕微鏡
メーカ・型式	セイコーインスツルメンツ㈱製 SPA-500/SPI3800
用途	走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、プローブ（探針）と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡です。測定モードは、2つに大別することができます。 1) 基本モード（表面観察）　・走査型トンネル顕微鏡（STM）　・原子間力顕微鏡（AFM）　・ダイナミック・フォース・モード（DFM） 2) 多機能モード（マッピング）　・摩擦　・粘弾性　・電流　・磁気力
仕様	最大試料サイズ：直径150mm×厚さ22mm 最大走査範囲：X-Y方向 □90um、Z方向 6um 分解能：X,Y 0.5nm、Z 0.05nm 測定モード：コンタクト、ダイナミックフォース、摩擦力測定、位相差マッピング、磁気力測定
利用料金	¥1,810 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。）	外観
導入年月	2003/11
設置場所	下越技術支援センター

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