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設備機器情報


設備名称 走査型プローブ顕微鏡
メーカ・
型式
セイコーインスツルメンツ㈱製
SPA-500/SPI3800
用途 走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、プローブ(探針)と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡です。
測定モードは、2つに大別することができます。
1) 基本モード(表面観察)
 ・走査型トンネル顕微鏡(STM)
 ・原子間力顕微鏡(AFM)
 ・ダイナミック・フォース・モード(DFM)
2) 多機能モード(マッピング)
 ・摩擦
 ・粘弾性
 ・電流
 ・磁気力
仕様 最大試料サイズ:φ150×厚さ22mm
最大走査範囲:XY(面内)方向90μm、Z(高さ)方向6μm
分解能:XY0.5nm、Z0.05nm
測定モード:コンタクト、ダイナミックフォース、摩擦力測定、位相差マッピング、磁気力測定
利用料金 ¥1,370 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2003/11
設置場所 下越技術支援センター