新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。
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Topページ > 設備機器一覧 > 設備機器情報（機械系） > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 【廃棄済み】走査型電子顕微鏡 | |
| メーカ・ 型式 |
日本電子(株)製 JSM-6330F |
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| 用途 | 電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、ワークから放出される二次電子、反射電子等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。 ・ワークの微少部や異物観察をするだけでなく、製品の事故解析を行う場合に、破断面の観察を高倍率で行える。 ・金属やプラスチック等の一般的な素材だけでなく、回路や半導体部品などの品質管理にも利用できる。 |
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| 仕様 | 分解能： 1.5nm（15kV） 加速電圧： 0.5～30kV 倍 率： ×10～500,000 |
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| 利用料金 | ¥2,150 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。） |  外観 |
| 導入年月 | 2000/02 | |
| 設置場所 | 下越技術支援センター | |