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設備機器情報


設備名称 走査型電子顕微鏡
メーカ・
型式
㈱日立ハイテクノロジーズ製
S-3600
用途 製品や部品などの材料観察や微細付着物の観察ができ、観察物の元素分析も可能な顕微鏡です。
仕様 【SEM】
 ・二次電子像分解能:3.0nm
 ・反射電子像分解能:4.0nm
 ・加速電圧:0.5~30kV
 ・倍率:×5(WD=35mm時)~×300,000
 ・最大試料寸法:φ254mm×H70mm(EDS使用時H60mm)
 ・最大観察試料寸法:φ200mm
 ・試料ステージ:5軸モータードライブ

【EDX】
 ・測定元素:B~U
 ・分解能:138eV
 ・広領域元素マッピング機能
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2003/12
設置場所 県央技術支援センター