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設備機器情報


設備名称 走査型電子顕微鏡
メーカ・
型式
日本電子㈱製
JSM-6060A
用途 測定物の微細表面を観察する装置です。電子線を走査して測定物に照射し、照射位置から放出される二次電子を検出することで像を作成します。微小表面の微細な凹凸を明瞭に観察できます。
・破断事故品の破断面の観察、EDSによる微小異物の構成元素の同定などに利用する。
仕様 【SEM】
  ・分解能:3.5nm(WD8mm)
  ・加速電圧:0.5~30kV
  ・倍率:×5~30万
  ・最大試料寸法:150mm
【EDS】
  ・測定元素:B~U
  ・分解能:138eV
  ・広領域元素マッピング機能
【オートカーボンコータ】
  ・試料台の回転傾斜機能
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2003/11
設置場所 中越技術支援センター