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設備名称 | 走査型電子顕微鏡 | |
メーカ・ 型式 |
日本電子(株)製 JSM-IT300LA |
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用途 | 走査型顕微鏡は観察対象物に向けて電子線を照射し、そこから放出される二次電子を検出器で拾って、その信号を増幅させることにより拡大観察・元素分析を行う装置です。当機器は低真空モードを備えており、導電性がない試料の観察のほか、元素分析や三次元化処理が可能です。 | |
仕様 | ・倍率:5~300,000倍 ・分解能:高真空モード 3.0 nm(30 kV) 15.0 nm(1.0 kV) 低真空モード 4.0 nm(30 kV BED) ・低真空圧力設定範囲:10~650 Pa ・最大試料寸法:200mm径 80mm高さ ・エネルギー分散型X線分析装置(EDS)付 |
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利用料金 | ¥2,150 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。) | 外観 |
導入年月 | 2016/12 | |
設置場所 | 素材応用技術支援センター |