新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。
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| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡 | |
| メーカ・ 型式 |
日本電子(株)製 JSM-IT500LA |
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| 用途 | 走査型電子顕微鏡は、電子線を観察対象試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出して、高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードにより、帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察分析ができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、光学像で観察位置を確認し、拡大すると高倍率の電子顕微鏡像となる機能があります。また試料から放出される特性Ｘ線を検出するＸ線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。 | |
| 仕様 | 【SEM（走査電子顕微鏡）】 ・倍 率：5～300,000倍 ・分解能：高真空モード：3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV)、低真空モード：4.0nm(30kV BED) ・加速電圧：0.3～30kV ・低真空圧力設定範囲：10～650Pa ・最大試料寸法：200㎜径×80㎜高さ 【EDS（エネルギー分散型X線分析装置）】 ・検出可能元素：Be～U ・エネルギー分解能：129eV以下 ・検出器：SDDタイプ |
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| 利用料金 | ¥2,150 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。） |  外観 |
| 導入年月 | 2019/01 | |
| 設置場所 | 中越技術支援センター | |