Topページ > 設備機器一覧 > 設備機器情報(機械系) > 走査型電子顕微鏡

設備機器情報


設備名称 走査型電子顕微鏡
メーカ・
型式
日本電子(株)製
JSM-6330F(FE-SEM)
用途 電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、ワークから放出される二次電子、反射電子等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。
・ワークの微少部や異物観察をするだけでなく、製品の事故解析を行う場合に、破断面の観察を高倍率で行える。
・金属やプラスチック等の一般的な素材だけでなく、回路や半導体部品などの品質管理にも利用できる。
仕様 分解能: 1.5nm(15kV)
加速電圧: 0.5~30kV
倍  率: ×10~500,000
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2000/02
設置場所 下越技術支援センター