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設備機器情報


設備名称 走査電子顕微鏡
メーカ・
型式
日本電子(株)製
JSM-5600


公益財団法人JKA 機械工業振興補助事業導入機器
用途 走査型顕微鏡は観察対象物に向けて電子線を照射し、そこから放出される二次電子を検出器で拾って、その信号を増幅させることにより拡大観察・元素分析を行う装置です。当機器は低真空モードを備えており、導電性がない試料の観察のほか、元素分析や三次元化処理が可能です。
仕様 ・倍率:5~300,000倍
・分解能:高真空モード 3.0 nm(30 kV) 15.0 nm(1.0 kV)
      低真空モード 4.0 nm(30 kV BED)
・低真空圧力設定範囲:10~650 Pa
・最大試料寸法:200mm径 80mm高さ
・エネルギー分散型X線分析装置(EDS)付
利用料金 ¥1,890 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2016/12
設置場所 素材応用技術支援センター