新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。
|
Topページ > 設備機器一覧 > 設備機器情報（機械系） > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡 | |
| メーカ・ 型式 |
(株)日立ハイテク製 SU3800 |
|
| 用途 | 走査型電子顕微鏡は電子線を観察試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出することで高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードでは帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察および分析することができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、視野探しが非常にやりやすくなっています。また、試料から放出される特性Ｘ線を検出するＸ線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。 | |
| 仕様 | 【SEM（走査電子顕微鏡）】 ・倍率：5～300,000倍 ・二次電子像分解能：3.0nm ・反射電子像分解能：4.0nm ・加速電圧：0.3～30kV ・低真空圧力設定範囲：6～650Pa ・最大試料寸法：φ200mm, H80mm ・最大観察試料寸法：φ130mm 【EDS（エネルギー分散型X線分析装置）】 ・測定元素：Be～Cf ・分解能：129eV以下 ・線分析、マッピング機能あり |
|
| 利用料金 | ¥2,150 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。） |  外観 |
| 導入年月 | 2020/12 | |
| 設置場所 | 県央技術支援センター | |