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設備機器情報


設備名称 走査電子顕微鏡
メーカ・
型式
日本電子㈱製
JSM-6510LV
用途 試料に電子線を照射して、金属部品や電子部品などの表面の微小な構造を鮮明に観察する。低真空観察やEDS分析も可能である。
仕様 分解能   高真空モード 3nm(30kV),8nm(3kV),15nm(1kV)
      低真空モード 4nm(30kV)
倍率    5~300,000倍
加速電圧  0.3~30kV
画像モード 二次電子像,反射電子像
試料台   φ10mm,φ32mm,φ76mm
試料ステージ稼働範囲
      X: 80 mm、Y: 40 mm、Z: 5 mm~48 mm、傾斜: −10°~+90°、回転: 360°
低真空圧力 10~270Pa(低真空観察時)
元素分析  付属のエネルギー分散型X線分析装置(JED-2300)による定性、簡易定量
利用料金 ¥1,560 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2010/03
設置場所 上越技術支援センター