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設備機器情報


設備名称 平面測定用レーザー干渉システム
メーカ・
型式
ZYGO製
GPI-HS
用途 反射表面形状および光学部品などの透過波面の測定に使用します。
仕様 タイプ:フィゾー干渉計
測定光源:He-Neレーザー(632.8nm)
測定対象:平面(各種ガラス、平滑加工された金属、セラミック、樹脂など)
有効光束径:φ150mm
試料位置:水平
カメラ画素数:776×576
ズーム倍率:×1~×6の連続ズーム
高さ分解能:λ/2(316nm)干渉縞観察レベル
平面原器の精度:λ/20(31.67nm)
干渉縞解析装置:P-V,RMS,2Dプロファイル,3Dプロファイル他の解析が可能
利用料金 ¥1,340 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
外観
導入年月 2004/02
設置場所 下越技術支援センター