新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。
| Topページ > MEMS装置操作研修 |
|
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術は、半導体製作技術を機械構造の加工に応用したものです。加速度センサー、インクジェットプリンタ用ヘッド、圧力センサーなどはMEMS技術を利用した代表例で、これらは自動車、家電、情報・通信、医療・バイオなど多くの分野で用いられています。 本研修では、スパッタリング、エッチング、ダイシングなど、MEMS加工の要素技術について理解を深めて頂くため、講義とMEMS装置の操作実習を行います。 普段の業務の中で「MEMSなど縁がない」という方も、その特徴的なプロセスは多くのヒントを与えてくれるものと思います。多くの皆様からご参加いただきますようご案内いたします。 本講習会は、ＮＰＯ法人長岡産業活性化協会ＮＡＺＥが受託した(公財)にいがた産業創造機構の産業基盤形成支援事業の一環で実施するものです。 |
| 日 時 | 平成28年11月22日（火）10:00～16:30 |
| 会 場 |
NICOナノテク研究センター ながおか新産業創造センター(NBIC)内 （長岡市深沢町2085-16 http://nbic.jp） |
| 定 員 | 5名程度（申込み多数の場合には、抽選とさせていただきます） |
| 参加費 | 無料 |
| 申込方法 | 参加申込書にご記入の上、メールまたはファックスにてお申込ください |
| 申込締切 | 平成28年11月15日（火） |
| プログラム |
10:00～10:05 開講式 10:05～11:00 講義（MEMSプロセス技術の基礎） 11:00～16:25 実習（スパッタリング・エッチング・ダイシングを用いたガスセンサー作製） 16:25～16:30 閉講式 （※ 進行状況により終了時刻が若干前後する場合がありますので予めご了承ください。） |
|
申込み・ 問い合わせ先 |
新潟県工業技術総合研究所 レーザー･ナノテク研究室 長岡市深沢町2085-17 TEL 0258-47-5171 FAX 0258-47-5172 E-mail claser@iri.pref.niigata.jp |
 案内チラシ兼申込書（PDF形式 546 キロバイト） |