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新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。

Topページ  > ナノテク機器利用講習会 MEMS装置操作研修 の ご案内 

ナノテク機器利用講習会

 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術は、半導体製作技術を機械構造の加工に応用したものです。加速度センサー、インクジェットプリンタ用ヘッド、圧力センサーなどはMEMS技術を利用した代表例で、これらは自動車、家電、情報・通信、医療・バイオなど多くの分野で用いられています。
 本研修では、スパッタリング、エッチング、ダイシングなど、MEMS加工の要素技術について理解を深めて頂くため、講義とMEMS装置の操作実習を行います。
普段の業務の中で「MEMSなど縁がない」という方も、その特徴的なプロセスは多くのヒントを与えてくれるものと思います。多くの皆様からご参加賜りますようご案内申し上げます。
 本事業は、(公財)にいがた産業創造機構の平成27年度産業基盤形成支援事業でNPO法人長岡産業活性化協会NAZEが実施するものです。

日 時 平成27年11月9日(月) 13:00~16:30
会 場 NICOナノテク研究センター ながおか新産業創造センター(NBIC)内
長岡市深沢町2085-16
定 員  5名程度(申込み多数の場合には、抽選とさせていただきます)
参加費  無 料
プログラム 開講式 (13:00~13:05)
講 義 (13:05~14:00)
 (MEMSプロセス技術の基礎)
●講義では、フォトリソグラフィー(感光性樹脂の塗布、紫外線露光の工程)や成膜技術、エッチング技術などのMEMS 加工の基礎について解説します。
実 習 (14:00~16:25)
(スパッタリング・エッチング・ダイシング)
●実習では、NICO ナノテク研究センターに設置されているクラス1000 のクリーンルーム内で、無塵衣を着用して作業をしていただきます。
●MEMS 加工における基本的な装置であるスパッタリング装置、ドライエッチング装置やダイシング装置などを操作して、ウェハーの加工を行います。
閉講式 (16:25~16:30)
申込方法 下記添付の参加申込書に必要事項をご記入の上、FAX又はE-mailで
お申し込みください
申込締切 平成27年11月2日(月)

 開催案内パンフレット・参加申込書(PDF:482kB)


◆ 問い合わせ・申込先 ◆
 新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室
 (長岡市深沢町2085-17)
 TEL:0258-47-5171 FAX:0258-47-5172
 E-mail:




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