新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems）技術は、半導体製作技術を機械構造の加工に応用したものです。加速度センサー、インクジェットプリンタ用ヘッド、圧力センサーなどはMEMS技術を利用した代表例で、これらは自動車、家電、情報・通信、医療・バイオなど多くの分野で用いられています。
本研修では、露光、成膜、エッチングなどのMEMS加工を構成する要素技術の知識を習得するとともに、半導体式ガスセンサーを実習題材として、MEMS加工の基本的な手順について機器を実際に操作しながら理解を深めていただきます。
普段の業務の中で「MEMSなど縁がない」という方も、その特徴的なプロセスは多くのヒントを与えてくれるものと思います。多くの皆様からご参加賜りますようご案内申し上げます。
| ※本事業は、（公財）にいがた産業創造機構の平成25年度産業基盤形成支援事業でＮＰＯ法人長岡産業活性化協会ＮＡＺＥが実施するものです。 |
記
1．日 時：
＜1日目＞ 平成25年11月6日（水）10:00～17:00
＜2日目＞ 平成25年11月7日（木）または 8日（金）10:00～17:00
※２日目の受講日は、受講通知の際にお知らせいたします。
2．会 場： NICOナノテク研究センター ながおか新産業創造センター(NBIC)内
（長岡市深沢町2085-16）
3．定 員： 6名（申込み多数の場合には、抽選とさせていただきます）
4．参加費： 無 料
5．申込方法： 裏面参加申込書にご記入の上、メールまたはファックスにてお申込ください。
6．申込締切 ： 平成25年10月25日（金）
7．研修内容：
１日目 10:00～12:00 講 義 （MEMSプロセス技術の基礎）
13:00～17:00 実 習 （フォトリソグラフィーとエッチング）
２日目 10:00～17:00 実 習 （エッチング、成膜と評価）
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●講義では、フォトリソグラフィー（感光性樹脂の塗布、紫外線露光の工程）や成膜技術、エッチング技術などのMEMS加工の基礎から半導体式ガスセンサーなどの応用事例について解説します。 ●実習では、NICOナノテク研究センターに設置されているクラス1000のクリーンルーム内で、無塵衣を着用して作業をしていただきます。 ●MEMS加工における基本的な装置であるマスクアライナー（露光装置）やスパッタリング装置、ドライエッチング装置などを使用してガスセンサーを試作します。また、試作品の評価も行います。 |
■開催案内パンフレット・参加申込書 （PDF:833 kB）
| 《 申込み先・お問い合わせ先 》 工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室 担当：伊関、佐藤 （または、同上） ＴＥＬ：0258（47）5171 ＦＡＸ：0258（47）5172 |