※本事業は、(公財)にいがた産業創造機構の平成25年度産業基盤形成支援事業でNPO法人長岡産業活性化協会NAZEが実施するものです。 |
●講義では、フォトリソグラフィー(感光性樹脂の塗布、紫外線露光の工程)や成膜技術、エッチング技術などのMEMS加工の基礎から半導体式ガスセンサーなどの応用事例について解説します。 ●実習では、NICOナノテク研究センターに設置されているクラス1000のクリーンルーム内で、無塵衣を着用して作業をしていただきます。 ●MEMS加工における基本的な装置であるマスクアライナー(露光装置)やスパッタリング装置、ドライエッチング装置などを使用してガスセンサーを試作します。また、試作品の評価も行います。 |
《 申込み先・お問い合わせ先 》 工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室 担当:伊関、佐藤 (または、同上) TEL:0258(47)5171 FAX:0258(47)5172 |