新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術は、半導体製作技術を機械構造の加工に応用したものです。加速度センサー、インクジェットプリンタ用ヘッド、圧力センサーなどはMEMS技術を利用した代表例で、これらは自動車、家電、情報・通信、医療・バイオなど多くの分野で用いられています。 　本研修では、スパッタリング、エッチング、ダイシングなど、MEMS加工の要素技術について理解を深めて頂くため、講義とMEMS装置の操作実習を行います。 普段の業務の中で「MEMSなど縁がない」という方も、その特徴的なプロセスは多くのヒントを与えてくれるものと思います。多くの皆様からご参加賜りますようご案内申し上げます。

日　時	平成26年11月4日（火）　13:00～16:00
場　所	NICOナノテク研究センター　ながおか新産業創造センター(NBIC)内 （長岡市深沢町2085-16）
場　所	4名程度（申込み多数の場合には、抽選とさせていただきます）
研 修 内 容	講 義 （MEMSプロセス技術の基礎）（15:10～16:10） 実 習 （スパッタリング・エッチング・ダイシング） 　　　　　　　　　　　　　　　　　（14:00～16:00） （※ 進行状況により終了時刻が若干前後する場合がありますので予めご了承ください。） ●講義では、フォトリソグラフィー（感光性樹脂の塗布、紫外線露光の工程）や成膜技術、エッチング技術などのMEMS加工の基礎について解説します。 ●実習では、NICOナノテク研究センターに設置されているクラス1000のクリーンルーム内で、無塵衣を着用して作業をしていただきます。 ●MEMS加工における基本的な装置であるスパッタリング装置、ドライエッチング装置やダイシング装置などを操作して、ウェハーの加工を行います。
参加費	無料
申込み・ 問合せ　他	下記添付の参加申込書により、FAXまたはE-mailでご連絡ください。
申込締切	平成26年10月29日（水）

◆ お申し込み、問い合わせ先 ◆ 　新潟県工業技術総合研究所　研究開発センター　レーザー･ナノテク研究室 　（長岡市深沢町2085-17） 　TEL：0258-47-5171　FAX：0258-47-5172 　E-mail：

開催案内パンフレット・参加申込書　（PDF:200 kB）