蛍光Ｘ線分析装置｜新潟県工業技術総合研究所

設備名称	測定顕微鏡
メーカ・型式	（株）ニコン製 MM-800/LMVFA
用途	二次元寸法測定、段差測定、拡大観察
仕様	[構成] 　・測定顕微鏡本体　　　L ： Z軸リニアエンコーダ機能　　　M ： Z軸電動上下動機構　　　V ：可変倍率機構（対物レンズ2本同時搭載）　　　FA ：フォーカスエイド機能（Z軸ピント合わせアシスト機構）　・XYステージ（MHS 12×8C）　・回転テーブル（Type D,φ262mm）　・接眼レンズ　x10,視野数20 　・対物レンズ　x1,x3,x5,x10,x20,x50 　・内部照明　　　透過、落射ともにLED照明　・外部照明　　　8方向LEDリングライト（CYN-E1）　　　ダブルアームファイバーLED照明装置　・測定支援システム（E-MAX DSセット）　・専用測定台（防振機能付き）　・キャリブレーションプレート [仕様] 　・測定範囲　　　　　X：300mm　Y：200mm　Z：200mm 　・測定精度（L：測定長）　　　XYステージ指示精度： 2.5＋(L/50)μm 　　　Z軸指示精度　　　　： 4+(L/15)μm 　・最大積載可能重量　20kg
利用料金	¥1,810 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。）	外観
導入年月	2018/03
設置場所	研究開発センター

新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。