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新潟県工業技術総合研究所は、工業系の技術支援機関です。

Topページ > 競輪(公益財団法人JKA)補助事業 H25年度整備機器

 競輪(公益財団法人JKA)補助事業

 下記設備は競輪((公財)JKA)の補助事業(機械工業振興補助事業)により設置しました。

設備名称 非接触表面形状測定機
メーカ・
型式
アメテック(株)
テーラーホブソン事業部製 CCI HD XL型
用途 光干渉を利用した非接触式の表面形状測定・評価を行う装置です。試料表面の表面粗さや凹凸形状等を高精度かつ短時間に測定及び解析できるほか、薄膜の膜厚測定評価が可能です。
仕様 【性能】
・測定範囲(高さ方向):2.2mm
・測定範囲(水平方向):
□6.6mm (x2.5倍)、□1.65mm(x 10倍)、□0.33mm(x 50倍)、□0.16mm(x100倍)
※測定範囲は、ステッチングにより拡大可能(最大64個)
・分解能 (高さ方向):0.01nm
・平面繰り返し精度:0.02nm以下
(SiC平面に対する20回測定のRqの1σ標準偏差)
・段差繰り返し精度:0.1%以下
(5um段差標準に対する20回測定の1σ標準偏差)

【仕様】
・カメラ:400万画素
・ステージ移動量:X 150mm、Y 150mm、Z 100mm
・ステージ耐荷重:10kg
・ステージ傾斜量:+/-4°
・膜厚測定:可能(0.3~10um)
・解析ソフトウェア:タリマップ(プラチナ)
- 2D表面性状パラメータ
(JIS B0601:2001、ISO4287:1997)
- 3D表面性状パラメータ
(ISO 25178-2:2012)
- 寸法測定、体積計算、周期計算

外観
利用料金 1,390円/時間
設置年度 平成25年度
設置場所 下越技術支援センター



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