MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術は、半導体製作技術を機械構造の加工に応用したものです。加速度センサー、インクジェットプリンタ用ヘッド、圧力センサー、流量センサーなどはMEMS技術を利用した代表例で、これらは自動車、家電、情報・通信、医療・バイオなど多くの分野で用いられています。「より小さく」、「より多く」を特徴とするMEMS加工では、露光、成膜、エッチングを基本加工ツールとして、これらを組み合わせて部品形状を作ります。

本研修では、MEMS加工を構成するこれら要素技術の知識を習得するとともに、水晶振動子を実習題材として、MEMS加工の基本的な手順について機器を実際に操作していただきながら理解を深めていただきます。

普段の業務の中で「MEMSなど縁がない」という方も、その特徴的なプロセスは多くのヒントを与えてくれるものと思います。多くの皆様からご参加賜りますようご案内申し上げます。

本事業は、（財）にいがた産業創造機構の平成23年度産業基盤形成支援事業でＮＰＯ法人長岡産業活性化協会ＮＡＺＥが実施するものです。